10:15 〜 10:30 [12a-N102-5] [講演奨励賞受賞記念講演] プラズマ曝露により絶縁膜/Si界面近傍に形成される欠陥構造のアドミタンスモデル解析 〇久山 智弘1,2、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)