16:30 〜 16:45 [10p-S202-13] 4H-SiCウエハエッチングにおけるClF3ガス分散構造の設計と検証 〇林 優也1、羽深 等1、高橋 至直2、加藤 智久3 (1.横国大院理工、2.関東電化工業、3.産総研)