平島伊織

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発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:30 N102 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-N102-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

09:00 〜 09:15

[12a-N102-1] 大気圧アルゴン・プラズマジェットを用いた鉛のエッチング

〇平島伊織¹、桑畑周司¹ (1.東海大工)