09:15 〜 09:30 △ [12a-N304-2] 陽極酸化法によるSi(110)面上のSiマイクロワイヤの形状制御 〇(M2)栗城 澪1、三平 智宏2、鈴木 俊明1、丹羽 雅昭1、本橋 光也1 (1.東京電機大工、2.日本電子)