16:15 〜 16:30 [10p-N104-12] 触媒化学気相堆積法と硝酸酸化法によって形成したSiNx/SiOx積層膜でのSi表面のパッシベーション 〇(D)中島 寛記1、Huynh Thi Cam Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)