Jiawen Yu

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発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:45 N305 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[12a-N305-1~10] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

09:30 〜 09:45

▲ [12a-N305-3] Automatic Temperature Measurement of SiC Wafer During Millisecond Thermal Processing Based on Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT)

〇Jiawen Yu¹、Keiya Fujimoto¹、Kotaro Matsuguchi¹、Takuma Sato¹、Hiroaki Hanafusa¹、Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)