14:15 〜 14:30 △ [13p-S301-6] 基板パルスバイアス電圧印加プラズマジェットCVD法を用いたDLC膜の高速成膜 〇大浦 曜1、坂東 隆宏1、滝川 浩史1、針谷 達1、権田 英修2、國次 真輔3 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー、3.岡山工技)