Nguyen ThiKhanh Hoa

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発表者・著者、共著者

2021年9月23日(木) 09:00 〜 10:40 P06 (ポスター)

一般セッション(ポスター講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[23a-P06-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

09:00 〜 10:40

▲ [23a-P06-3] Application of Millisecond Solid Phase Crystallization of Silicon Films Induced by Micro-Thermal-Plasma-Jet to Bottom-Gate Thin-Film Transistors

〇(DC)Nguyen ThiKhanh Hoa¹、Hiroaki Hanafusa¹、Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)