16:30 〜 16:45 [13p-S301-13] GCIB援用蒸着法により製膜されたDLCの製膜条件によるマルテンス硬度 〇大和田 佑1、西山 昭雄2、吉川 亮太2、田口 純志2、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技大工、2.野村鍍金)