09:45 〜 10:00 [10a-N321-4] フェムト秒レーザー微細穴あけ加工における多次元フィードバック制御 〇(D)場本 圭一1、櫻井 治之1、谷 峻太郎1、小林 洋平1 (1.東大物性研)