11:15 〜 11:30 △ [10a-N302-4] 3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討 〇大西 哲1、内山 晃宏1、柴田 滉平1、市川 崇志1、李 尚曄1、飯田 慎一2、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1、伊藤 浩之1 (1.東工大、2.NTT-AT)