09:00 〜 10:40 [22a-P04-4] エキシマレーザ照射プロセスへの窒素プラズマ融合効果 〇袖山 和斗1、西川 雅美1、石橋 隆幸1、河原 正美2、中島 智彦3、土屋 哲男3 (1.長岡技大、2.高純度化学、3.産総研)