13:15 〜 13:30 [12p-N323-2] ミニマルプラズマTEOS膜の配線間埋め込み特性 〇三浦 典子1、田中 宏幸2、野田 周一2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)