16:00 〜 16:15 [12p-N323-11] 局所クリーン化洗浄装置における微粒子を減らすための密閉空間での洗浄 〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)