13:00 〜 13:15 [12p-N323-1] ミニマルスパッタ装置によるAl配線、ゲート材料形成に関する考察 〇野田 周一1、田中 宏幸1、加瀬 雅1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)