14:00 〜 14:15 △ [13p-N203-3] 傾斜組成LiNixMnyCozO2薄膜作製に向けたLiNi0.67Mn0.33O2エピタキシャル薄膜の予備検討 〇(M1)鈴木 貫太1、神永 健一1、丸山 伸伍1、松本 祐司1 (1.東北大院工)