09:00 〜 09:15 [10a-N104-1] n-PERTセルのSiNx膜の組成およびSiO2膜の膜厚が分極型PID挙動に与える影響 〇山口 世力1、中村 京太郎2、仙波 妙子1、大平 圭介3、大下 祥雄2、増田 淳1 (1.新潟大、2.豊田工大、3.北陸先端大)