14:15 〜 14:30 △ [10p-N102-4] Si上無極性AlN成長への高N₂スパッタガス流量の効果 〇森田 雅也1,2、石橋 啓次3、高橋 健一郎3、上田 茂典2、知京 豊裕2、小椋 厚志1,4、長田 貴弘2 (1.明治大学、2.物材機構、3.株式会社コメット、4.明大MREL)