13:30 〜 13:45 [10p-N304-1] 壁面排出孔を設けたバッチ式シリコンウエハ湿式洗浄槽の水流観察 高橋 俊範1、〇土田 透子1、羽深 等1、後藤 昭広2 (1.横国大院理工、2.プレテック)