09:00 〜 09:15 [11a-N205-1] 【注目講演】レーザー光電子顕微鏡による強誘電体Hf0.5Zr0.5O2キャパシタの非破壊分析 〇藤原 弘和1、谷内 敏之2、Bareille Cédric2、小林 正治3、辛 埴2,4 (1.東大物性研、2.東大新領域MIRC、3.東大d.lab、4.東大特別教授室)