Zheng WANG

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発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:45 N104 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| 16 非晶質・微結晶
| 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[12a-N104-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

09:15 〜 09:30

▲ [12a-N104-2] Mechanism of Crystallization of Cat-CVD Hydrogenated n-a-Si Films on Textured Glass Substrates by FLA

〇Zheng WANG¹、Huynh Thi Cam Tu¹、Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)