15:45 〜 16:00
〇谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、池田 伸一1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
谷島 孝
発表者・著者、共著者
2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)
15:45 〜 16:00
〇谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、池田 伸一1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)