16:00 〜 16:15 △ [12p-S203-12] エピタキシャルNiO薄膜の物性および構造に及ぼすエキシマ真空紫外光照射の影響 〇(M2)金子 健太1、庄司 拓貴1、大賀 友瑛1、金子 智2,1、吉本 護1、松田 晃史1 (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)