10:00 〜 10:15 [13a-N323-5] プラズマスパッタリング法を用いたGeSn薄膜ナノ構造制御とLiイオン電池への応用 〇永井 健太1、若菜 文佳1、林 純希1、羽生 侑真1、木賀 海青1、山田 輝也1、内田 儀一郎1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)