13:00 〜 13:15 [13p-N101-1] 水素同位体標識を用いたGaN MOVPEにおけるTMGaとNH3の気相反応の高分解能質量分析 〇叶 正1、新田 州吾1、本田 善央1,2、Markus Pristovsek1、天野 浩1,3,4 (1.名大IMaSS、2.名大IAR、3.名大ARC、4.名大VBL)