17:30 〜 17:45 △ [13p-N101-17] 高温アニールAlN上AlGaNチャネルHEMTのAlGaN膜厚依存性 〇森 隆一1、上杉 謙次郎2,3、窪谷 茂幸2、正直 花奈子1、三宅 秀人1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)