16:15 〜 16:30 [13p-N105-11] GaAs両持ち梁MEMS共振器における非線形性の熱調整 〇吉岡 佑理1、諸橋 功2、邱 博奇3、平川 一彦3,4、張 亜1 (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構)