15:00 〜 15:15 [13p-S201-8] MOVPE法を用いたβ-Ga2O3 成長の熱力学解析とその実験的検証 〇後藤 健1、田中 那実1、西村 太郎1、池永 和正1,2、石川 真人3、町田 英明3、熊谷 義直1 (1.東京農工大工、2.大陽日酸、3.気相成長)