09:00 〜 10:40 [22a-P04-5] 超音波霧化を用いたBi置換希土類鉄ガーネット薄膜用MOD溶液塗布技術の開発 〇磯村 奎太郎1、西川 雅美1、河原 正美2、荒川 亮3、森 英季3、石橋 隆幸1 (1.長岡技大、2.高純度化学、3.秋田県産技センター)