13:00 〜 14:40 [22p-P01-1] 室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価 〇永田 一成1、吉田 一樹1,2、齋藤 健太郎1,2、三浦 正範3、鹿又 健作3、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)