13:00 〜 14:40 [23p-P07-2] RF-MBE 法による極薄 GaN/AlN 超格子構造の作製 〇杢谷 直哉1、和田 邑一1、毛利 真一郎1、正直 花奈子2、三宅 秀人2,3、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)