13:00 〜 13:30 [10p-S301-1] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] プラズマ励起ラジカルの強制対流による高品質グラフェンの低温合成 〇金 載浩1、板垣 宏知1、榊田 創1 (1.産総研) PDF ダウンロード スケジュール いいね! コメント ( )
13:30 〜 14:00 [10p-S301-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] pn 接合構造を用いたシリコン基板へのプラズマ誘起ダメージの評価 〇佐藤 好弘1,2、柴田 聡1、占部 継一郎2、江利口 浩二2 (1.パナソニック、2.京都大学) PDF ダウンロード スケジュール いいね! コメント ( )