[10a-N203-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [10a-N203-3] ANNポテンシャルを用いたSi結晶中の原子空孔クラスターに関する大規模計算(3)

〇(M2)後口 拓登¹、横井 達矢²、野田 祐輔³、神山 栄治³、大櫃 万聖¹、永倉 大樹¹、末岡 浩治³ (1.岡山県大院情報系工、2.名古屋大院工、3.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン、原子空孔、深層学習

シリコン結晶内の微小な欠陥は，実験で検出することが難しいため，計算機による解析が有効である．機械学習を用いて開発した原子間ポテンシャルでは，精度良く，かつ低い計算コストで解析を行うことができる．今回は，学習データを見直すことでV 35個までのDFTとの差異を低下させ，さらに最大969個のVクラスターに関する大規模計算を行った．