[10a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[10a-N321-9] ホログラフィックフェムト秒レーザー加工を用いた体積型回折格子の作製

〇(M1)石田 典也¹、張 弘昊¹、長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大)

キーワード：レーザー加工、微細加工

体積型回折格(VBG: volume Bragg grating)は，材料内部に作製される厚い回折格子であり，理論的には100%の高い回折効率，高ダメージしきい値，耐汚染性の特徴を有する.
本研究では,空間光変調器(SLM: spatial light modulator)上に表示された計算機ホログラム(CGH: computer-generated hologram)を用いたホログラフィックフェムト秒レーザー加工[1]により，VBGの直接描画を実証する.ホログラフィック法によりZ軸方向に集光スポットを生成することでビームの長軸化、X軸方向に集光スポットを並列することで高スループット化を図る.