[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10a-N402-2] 有機酸とAr-GCIB照射を用いたSiO₂の原子層エッチング

〇(M1)藤原 怜輝¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大)

キーワード：原子層エッチング、ガスクラスターイオンビーム