2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

2021年9月10日(金) 09:00 〜 11:30 S301 (口頭)

白井 直機(北大)

09:00 〜 09:15

[10a-S301-1] レーザー生成Snプラズマ発光誘起水素プラズマの時空間分解レーザートムソン散乱計測

神家 幸一郎1、富田 健太郎2,3、堀田 隼矢2、Yiming Pan2、戸室 啓明1、森田 昌幸1、柳田 達哉1、内野 喜一郎2、山本 直嗣2 (1.ギガフォトン、2.九大総理工、3.北大院工)

キーワード:極端紫外光、トムソン散乱

極端紫外(EUV)露光光源内部では,緩衝ガスの水素がEUV源のSnプラズマの発光に電離されており,この水素プラズマ中のラジカル・イオンがEUV集光鏡の汚染を抑制していると考えられる.本研究では,このSnプラズマ発光誘起水素プラズマのパラメータ計測がEUV集光鏡の曝される環境の理解に有用だと考え、レーザートムソン散乱法による電子密度・温度の時空間分布計測を行った.講演ではその結果を報告する.