[10a-S301-1~10] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [10a-S301-6] Nitrogen Atom Density Measurements in Spiral Shape Nitrogen Plasma

〇(M2)Ryosuke Nishio¹, Shin Kajita², Noriyasu Ohno¹, Hirohiko Tanaka¹, Koji Asaoka¹, Takayoshi Tsutsumi³, Masaru Hori³ (1.Grad. Sch. Eng., Nagoya Univ., 2.IMaSS, Nagoya Univ., 3.cLPS, Nagoya Univ.)

Keywords:plasma, nitrogen atom

窒素原子はNO_x除去や材料窒化など、様々な用途での使用が期待されており、高窒素原子密度環境が求められている。本研究では、長い磁力線長を有する螺旋状プラズマ生成装置NAGDIS-Tを使用し、解離性再結合反応による高密度の窒素原子生成を目指す。真空紫外吸収分光法およびアクチノメトリー法を用いて、本装置内の窒素原子密度を測定した。