[10a-S301-1~10] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [10a-S301-7] Development and basic performance measurement of atmospheric shower head type multi-gas plasma source

〇Tsuyoshi Noguchi¹, Kenichi Yamazaki^1,2, Yuma Suenaga¹, Akitoshi Okino¹ (1.Tokyo Tech., 2.Toshiba Infrastructure Systems & Solutions Corp.)

Keywords:atmospheric plasma, dielectric barrier discharge, surface treatment

我々の研究室では，様々な大気圧プラズマ装置を開発し，表面処理や殺菌，止血などに応用してきた。しかし，従来のプラズマ装置は処理できる面積が直径数mmと小さく，面を処理するためには二次元的な走査が必要であった。本研究では，直径約40mmの範囲を一度に処理できる面照射型のプラズマ装置を開発し，様々なガスで安定なプラズマ生成を実現した。この装置の初めての発表となる本講演では，装置の概要と基礎特性について発表する。