2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

2021年9月10日(金) 09:00 〜 11:30 S301 (口頭)

白井 直機(北大)

10:15 〜 10:30

[10a-S301-6] 螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測

〇(M2)西尾 亮佑1、梶田 信2、大野 哲靖1、田中 宏彦1、浅岡 晃次1、堤 隆嘉3、堀 勝3 (1.名大院工、2.名大未来研、3.名大低温プラズマ科学研)

キーワード:プラズマ、窒素原子

窒素原子はNOx除去や材料窒化など、様々な用途での使用が期待されており、高窒素原子密度環境が求められている。本研究では、長い磁力線長を有する螺旋状プラズマ生成装置NAGDIS-Tを使用し、解離性再結合反応による高密度の窒素原子生成を目指す。真空紫外吸収分光法およびアクチノメトリー法を用いて、本装置内の窒素原子密度を測定した。