10:30 AM - 10:45 AM
△ [10a-S301-7] Development and basic performance measurement of atmospheric shower head type multi-gas plasma source
Keywords:atmospheric plasma, dielectric barrier discharge, surface treatment
我々の研究室では,様々な大気圧プラズマ装置を開発し,表面処理や殺菌,止血などに応用してきた。しかし,従来のプラズマ装置は処理できる面積が直径数mmと小さく,面を処理するためには二次元的な走査が必要であった。本研究では,直径約40mmの範囲を一度に処理できる面照射型のプラズマ装置を開発し,様々なガスで安定なプラズマ生成を実現した。この装置の初めての発表となる本講演では,装置の概要と基礎特性について発表する。