The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

Presentation information

Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.1 Plasma production and diagnostics

[10a-S301-1~10] 8.1 Plasma production and diagnostics

Fri. Sep 10, 2021 9:00 AM - 11:30 AM S301 (Oral)

Naoki Shirai(Hokkaido Univ.)

10:30 AM - 10:45 AM

[10a-S301-7] Development and basic performance measurement of atmospheric shower head type multi-gas plasma source

Tsuyoshi Noguchi1, Kenichi Yamazaki1,2, Yuma Suenaga1, Akitoshi Okino1 (1.Tokyo Tech., 2.Toshiba Infrastructure Systems & Solutions Corp.)

Keywords:atmospheric plasma, dielectric barrier discharge, surface treatment

我々の研究室では,様々な大気圧プラズマ装置を開発し,表面処理や殺菌,止血などに応用してきた。しかし,従来のプラズマ装置は処理できる面積が直径数mmと小さく,面を処理するためには二次元的な走査が必要であった。本研究では,直径約40mmの範囲を一度に処理できる面照射型のプラズマ装置を開発し,様々なガスで安定なプラズマ生成を実現した。この装置の初めての発表となる本講演では,装置の概要と基礎特性について発表する。