[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [10a-S301-7] 面照射型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発と基礎特性の測定

〇野口 剛¹、山崎 顕一^1,2、末永 祐磨¹、沖野 晃俊¹ (1.東工大未来研、2.東芝インフラシステムズ)

キーワード：大気圧プラズマ、誘電体バリア放電、表面処理

我々の研究室では，様々な大気圧プラズマ装置を開発し，表面処理や殺菌，止血などに応用してきた。しかし，従来のプラズマ装置は処理できる面積が直径数mmと小さく，面を処理するためには二次元的な走査が必要であった。本研究では，直径約40mmの範囲を一度に処理できる面照射型のプラズマ装置を開発し，様々なガスで安定なプラズマ生成を実現した。この装置の初めての発表となる本講演では，装置の概要と基礎特性について発表する。