2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[10p-N102-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年9月10日(金) 13:30 〜 16:30 N102 (口頭)

林 侑介(阪大)、上杉 謙次郎(三重大)

15:15 〜 15:30

[10p-N102-7] スパッタ法によるn+-GaN再成長コンタクトAlN/AlGaN HEMTの作製

前田 亮太1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード:AlGaN、スパッタリング、HEMT