The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

Presentation information

Oral presentation

16 Amorphous and Microcrystalline Materials » 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[10p-N104-1~18] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

Fri. Sep 10, 2021 1:00 PM - 6:15 PM N104 (Oral)

Hitoshi Sai(AIST), Atsushi Masuda(Niigata Univ.)

4:30 PM - 4:45 PM

[10p-N104-13] Hydrogenation for passivation contacts using a Cat-CVD system

Yuli Wen1, Thi Cam Tu Huynh1, Keisuke Ohdaira1 (1.JAIST)

Keywords:Cat-CVD, Hydrogenation, Passivation contacts

パッシベーションコンタクトであるTNPConおよびTOPConに対し、Cat-H処理によりパッシベーション性能を向上させる検討を行った。いずれの構造においても、15分間程度のCat-H処理により、パッシベーション性能が向上することを確認した。また、TNPCon と比べてTOPConの方が、より大きなパッシベーション性能の向上を示した。