[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[10p-N202-9] 歪み緩和 SiGe / Si (111) バッファー層の作製とアニールの効果

〇岡田 和也¹、我妻 勇哉¹、山田 航大¹、井上 貴裕¹、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大学)

キーワード：シリコンゲルマニウム