[10p-N203-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[10p-N203-1] SiO₂/Si界面への格子間酸素の一次元整列

〇神山 栄治^1,2、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県大情報工)

キーワード：格子間酸素、シリコン／酸化膜界面、箱庭法

Si結晶中における酸素の凝集体では，(1) 酸素が3次元的に配列した酸素析出物（SiO₂）と，(2) 一次元的に整列するサーマルドナー（TD）とが知られる．ここで，この(2)が(1)の近傍に存在するとすれば，より安定なものにならないだろうか．本報告では，格子間酸素の一次元鎖を一例として，長鎖構造のTDを想定した無限長さの一次元鎖の，SiO₂/Si界面近傍における安定性について第一原理計算で検討した結果について報告する．