[10p-N203-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[10p-N203-7] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(6) CO, NN, NO ringの赤外吸収

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、不純物、赤外吸収

シリコン中の窒素の構造はSi-N-Si-Nの4原子正方形リングである。照射誘起複合体のCOの構造もringで、「社会の頭脳（+神経網）と心臓（+血管網）」がこの正方形リングでできている。赤外吸収で共通性に基づいて先行成果を活用することにより、双方の研究を効率的に進めている。そのためデータベースを作成しwebsiteで公開している。サーマルドナーや酸素の高速拡散を担うOOも4原子ring説がある。