The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

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Oral presentation

2 Ionizing Radiation » 2.2 Radiation physics fundamentals & applications, radiation generators, new technology

[10p-N206-1~13] 2.2 Radiation physics fundamentals & applications, radiation generators, new technology

Fri. Sep 10, 2021 1:30 PM - 5:00 PM N206 (Oral)

Masanori Koshimizu(Tohoku Univ.), Takeshi Fujiwara(AIST)

1:30 PM - 1:45 PM

[10p-N206-1] Evaluation of X-ray reflectivity of Co-coated Si optics prepared by atomic layer deposition

〇(D)Aoto Fukushima1, Daiki Ishi1, Yuichiro Ezoe1, Kumi Ishikawa1, Tomoki Uchino1, Sae Sakuda1, Ayata Inagaki1, Yoko Ueda1, Hiromi Morishita1, Luna Sekiguchi1, Yukine Tsuji1, Takatoshi Murakawa1, Masaki Numazawa2, Kazuhisa Mitsuda3 (1.TMU, 2.RIKEN, 3.NAOJ)

Keywords:atomic layer deposition, X-ray reflectivity, X-ray astronomy

将来衛星への搭載に向けて、マイクロマシン技術を用いた宇宙用の軽量X線望遠鏡の開発を進めている。薄い Si ウェハに微細穴を形成し、側壁をX線反射鏡として利用する。反射率向上のため、我々は原子層堆積法に着目し、Si 表面への Co 成膜を実施した。反射率は大反射角で大きく向上し、成膜面の表面粗さは 1 nm rms 程度と将来ミッションの要求を満たしている。今後、微細穴側壁への成膜についても検証を進める予定である。

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