[10p-N206-1~13] 2.2 Radiation physics fundamentals & applications, radiation generators, new technology

△ [10p-N206-2] Development of Schmidt type Lobster eye optics using MEMS technology

〇(M2)Sae Sakuda¹, Yuichiro Ezoe¹, Kumi Ishikawa¹, Masaki Numazawa², Daiki Ishi¹, Aoto Fukushima¹, Tomoki Uchino¹, Ayata Inagaki¹, Yoko Ueda¹, Hiromi Morishita¹, Luna Sekiguchi¹, Yukine Tsuji¹, Takatoshi Murakawa¹, Kazuhisa Mitsuda³, Yoshiaki Kanamori⁴, Kohei Morishita⁵ (1.TMU, 2.RIKEN, 3.NAOJ, 4.Tohoku Univ., 5.Kyushu Univ.)

Keywords:MEMS, X-ray optics, DRIE

我々は将来の宇宙X線観測を目指してMEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye光学系を世界で初めて開発した。甲殻類の眼を模した光学系で広視野を実現可能である。市販のAngel配置Lobster eye光学系と比べて1桁以上低コストでかつ、高い空間分解能も期待できる。我々の手法では長穴スリットを多数持つ基板を2段に重ねることで、四角穴と比べて製作や側壁評価も容易である。本講演では光学系の原理と予想性能、製作とX線評価までを一貫して述べる。