[10p-N206-1~13] 2.2 放射線物理一般・放射線応用・発生装置・新技術

△ [10p-N206-2] MEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye光学系の開発

〇(M2)作田 紗恵¹、江副 祐一郎¹、石川 久美¹、沼澤 正樹²、伊師 大貴¹、福島 碧都¹、内野 友樹¹、稲垣 綾太¹、上田 陽功¹、森下 弘海¹、関口 るな¹、辻 雪音¹、村川 貴俊¹、満田 和久³、金森 義明⁴、森下 浩平⁵ (1.東京都立大、2.理研、3.国立天文台、4.東北大、5.九州大)

キーワード：微小電気機械システム、X線光学系、ドライエッチング

我々は将来の宇宙X線観測を目指してMEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye光学系を世界で初めて開発した。甲殻類の眼を模した光学系で広視野を実現可能である。市販のAngel配置Lobster eye光学系と比べて1桁以上低コストでかつ、高い空間分解能も期待できる。我々の手法では長穴スリットを多数持つ基板を2段に重ねることで、四角穴と比べて製作や側壁評価も容易である。本講演では光学系の原理と予想性能、製作とX線評価までを一貫して述べる。