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一般セッション(口頭講演)

12 有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.6 ナノバイオテクノロジー

[10p-N207-1~16] 12.6 ナノバイオテクノロジー

2021年9月10日(金) 13:30 〜 18:00 N207 (口頭)

住友弘二(兵庫県立大)、淺川雅(金沢大)、赤堀玲奈(日立研開)

13:45 〜 14:00

[10p-N207-2] SiO₂犠牲層プロセスを用いた厚み10 nm以下のSiNナノポアメンブレンの形成

〇柳至¹、武田健一¹ (1.日立研開)

キーワード：ナノポア、メンブレン、薄膜